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漩涡风机在半导体设备有哪些作用
2026-2-27
漩涡风机在半导体设备有哪些作用漩涡风机在半导体设备中扮演着关键角色,其作用贯穿于制造工艺的多个重要环节,主要包括以下几个方面:一、提供真空环境真空吸附与固定:半导体制造对真空环境的要求高,真空度直接影响刻蚀、沉积等工艺的精度。在晶圆搬运、定位等环节,漩涡风机通过真空吸盘产生稳定负压,固定晶圆,避免机械接触导致的污染或损伤。例如,在激光雕刻机中,气泵吸力可固定切割物,确保雕刻精度。维持高真空度:与干式涡旋真空泵结合,漩涡风机可抽除工艺腔体内的未反应气体、气态反应产物,维持高真空...
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双叶轮侧风道高压风机的工作原理和安装注意事项
双叶轮侧风道高压风机的工作原理当叶轮转动时,由于离心力的作用,风向标促使气体向前向外运动,从而形成一系列螺旋状的运动。叶轮刀片之间的空气呈螺旋状加速旋转并将泵体之外的气体挤入(由吸气口吸入)侧槽,当它进入侧通道以后,气体被压缩,然后又回复到叶轮刀片间再次加速旋转。当空气沿着一条螺旋形轨道穿过叶轮和侧槽时,每个叶轮片增加了压缩和加速的程度,随着旋转的进行,气体的动能增加,使得沿侧通道通过的气体压力进一步增加。当空气到达侧槽与排放法兰的连接点(侧通道在出口处变窄),气体即被挤出叶...
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2018-05-27
TB透浦式鼓风机工作原理及安装维护
TB透浦式鼓风机工作原理及安装维护TB透浦式鼓风机工作原理及安装维护--上海梁瑾机电设备有限公司,透浦式风机按照流体学原理设计的叶轮在风道中循环加速增压,*的单侧,单级叶轮旋转产生高压气流.叶轮由多个叶片构成多个气腔.空气进入这些气腔后,在轴向和径向两个方向得到加速.在旋转叶轮的带动下,空气进入环行室外侧和下一个气腔.如此循环形成一个涡状或像一个被拉伸的弹簧.速度能量不断增加或反复多次产生,在鼓风机吸入口和排气口形成气流.TB透浦式鼓风机安装与维护1.风机应放置在较平稳的地方...
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2018-05-17
漩涡式气泵用途
漩涡式气泵用途--上海梁瑾机电设备有限公司,上海梁瑾小编在这里跟大家分享漩涡气泵具体在工业中的应用和用途,了解更多漩涡气泵高压风机相关信息,可以致电我们24h,我们热情为您服务!漩涡式气泵用途:1、灌装设备漩涡式气泵/高压风机:灌装前高压风机使用:讲需要灌装的容器附在内壁的水分吸走,同时容器也形成相对的真空,便于灌装.提效率.无需安装风量加热设备.2、工业吸尘机漩涡式气泵/高压风机:工业吸尘机是利用环形鼓风机叶轮高速运转,产生*的吸力和压力使集尘器内部形成局部真空:在吸力和压...
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2018-05-15
防爆鼓风机应用与节能
防爆鼓风机应用与节能--上海梁瑾机电设备有限公司,在这里上海梁瑾小编跟大家分享下,防爆鼓风机应用的场所及节能环保的发展方向,节能减排是十二五规划的一个重点,更是我们梁瑾大力发展的方向,使高压风机更节能,更环保是梁瑾不懈的追求!具体到高压风机来说,有什么办法能使我们的高压风机在使用过程中更节能,更环保呢?据流体力学理论,气体的流动过程将伴随着损失。例如,气体流过节流装置后气流的压力会相应减少,也就是它们损失了高压风机的有用功。由于这一切都是在高压风机输送气体的过程中发生的,也就...
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2018-05-14
2QB侧风道高压风机安装及使用注意事项
2QB侧风道高压风机安装及使用注意事项2QB侧风道高压风机安装及使用注意事项--上海梁瑾机电设备有限公司,小编在这里跟大家分享下侧风道高压风机的安装及使用注意那些方面问题,了解更多关于侧风道高压风机信息,可致电我们24h,为您提供专业、快捷的服务!侧风道高压风机的安装1.机壳内及其它壳体内部要进行检查,防止有工具或杂物的;2.侧风道高压风机与风管采用软管(柔性材料且不燃烧)连接,长度不宜小于200mm,管径与风机进出口尺寸相同.为保证软管在系统运转过程中不出现扭曲变形,应安装...
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2018-05-08
漩涡气泵堵塞的处理方法
漩涡气泵堵塞的处理方法--上海梁瑾机电有限公司,在这里小编跟大家分享下,漩涡气泵在使用中出现故障的处理方法,了解更多关于漩涡气泵的相关信息,请致电我们24h直销!具体从以下几点分析:1、气泵压力或流量降低:当出现压力和流量下降时,首先切断旋涡气泵的电源,查看进气口是否有东西堵塞,检查进气口过滤网,不过不要拆除过滤网,否则会把杂物吸进气泵,导致损坏.其次,若发现机器内部有杂物的,导致橡胶皮顶住了电磁铁,造成电磁铁不能恢复位置.此时可以打开旋涡气泵的外壳,清理内部杂物.在橡胶皮上...
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2018-05-07
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